《微纳电子技术》是国家新闻出版局批准公开发行、中国电子科技集团公司主管、中国电子科技集团公司第十三研究所主办的科技期刊。

《微纳电子技术》于2002年创刊（月刊），是中国最早公开出版发行的涉足纳米科学与技术领域的杂志，对国内纳米科学与技术、MEMS技术领域具有一定的影响。其内容包括：纳米电子学、纳米电子器件、纳米材料、纳米测量技术与设备、MEMS器件与技术、纳米技术应用以及国内外纳米材料与器件的最新进展报道，兼顾微米电子领域的最新研究成果和进展。

《微纳电子技术》是中文核心期刊、中国科技核心期刊，不仅被国内的中国期刊网、中国学术期刊（光盘版）、万方数据数字化期刊群入网期刊、中文科技期刊数据库等收录，而且被国外的美国《化学文摘》（CA）、美国《剑桥科学文摘》（CSA）、英国《科学文摘》（SA，INSPEC）、俄罗斯《文摘杂志》（AJ.VINITI）、美国《乌利希期刊指南》收录。

栏目设置：
技术论坛
微纳电子技术研究与进展。

器件与技术
单电子器件（单电子晶体管、开关、量子旋转门器件、单电子存储器等）；量子器件（HEMT、量子线晶体管、量子干涉器件、谐振隧道二极管RTD、量子阱激光器、量子点阵列、红外探测器等）；分子电子器件（电子开关、 电化学分子器件等）；生物芯片；超微导线、超微开关以及电路芯片的研制。

材料与结构
纳米电子材料；纳米半导体材料；纳米光电子材料；纳米生物医用材料；纳米储能材料（包括纳米粒子、纳米棒、纳米管、纳米纤维、纳米薄膜、超晶格结构、三维纳米结构与介孔结构以及上述各种形式的复合材料等形式的量子点、量子线、量子阱等）；MBE、MOCVD生长技术及相关材料。

MEMS与传感器
微传感器、微执行器、微控制器、微存储器、光MEMS、RF MEMS、BioMEMS、NEMS等的设计研究；体硅工艺技术、表面硅工艺技术、MEMS封装技术、LIGA技术及准LIGA技术等工艺技术。

加工、测量与设备
SEM(扫描电子显微镜)、STM(扫描隧道显微镜)、SPM(扫描探针显微镜)、AFM（原子力显微镜)等纳米结构的显微与测量技术；电子束、离子束、X射线曝光、ICP和RIE等刻蚀、化学机械抛光（CMP）、硅–硅键合等微细加工技术与设备。

国际视点
报道国际上微纳电子技术的最新进展、市场动态和产品信息。